六月二十四日。
上午。
无锡。
华润微电子无锡厂区。
五號车间。三號產线。
这是华润微选出来的“首批接入產线”。三號產线是华润微六剴8米mems產线中產能最中等、工艺复杂度最高的一条。选这条不是选“最好跟”的。是选“能说明问题”的。
薇澜驻场工程师两人。
一位是素照。四十三岁。原在中航mems做產线工艺二十多年。三月被薇澜挖过来。现在是薇澜仿真部署部门高级工程师。
另一位是邹心。二十五岁。復旦硕二后加入薇澜的。今年五月刚转正。
一老一年轻。
他们今天来是部署“全功能模块组合包”。这是薇澜提供给联盟企业的最高级別接入方案。包含產线仿真、自適应纠偏、材料扩展、错误诊断、实时反馈五个模块。
华润微这边驻场接应是张立。周志远隨同了他。
周志远今天主要是看。不是亲自上手。这是他第一次看仿真系统部署到联盟企业產线上。
部署从上午8点开始。
素照负责仿真样本库与產线现场参数的同步。他使用的是一个台式机终端。连接到三號產线的產线控制计算机。他逐步导入產线上现有设备参数、现有qc参数、现有环境参数。三类输入。
邹心负责导入错误诊断与实时反馈模块。他使用的是一个笔记本。连接到薇澜仿真云。他逐步调校閾值、报警级別、重算频率。
三个小时后。中午5二时。部署完成。
素照看了一眼手錶。“起个试一下。”
张立、周志远、以及在场三位中阶工程师凑过去。
產线控制计算机上跳出仿真结果面板。三號產线上现有十八道工序。面板上逐道显示预测偏差。
第三道工序预测偏差：-0.42。
第五道工序预测偏差：-0.18。
第七道工序预测偏差：-0.51。
第十二道工序预测偏差：+0.33。
其他工序预测偏差都在±0.1以內。
素照看了一眼张立。“你们这条產线，现在良率是多少。”
张立查了下手机。“上个月平均86.4%。”
“这项预测说。你们產线上第三、第五、第七、第十二道工序是拉低良率的主要点。”素照说。“其他五道工序变动不大，不是並主问题。”
张立点点头。这与他们產线现场的判断是一致的。但他们现场的判断是事实出来的。仿真系统是零开始手动不查设备、不部署营位、仅凭输入参数推出来的。
“那仿真系统推荐的调整是什么。”张立问。
素照点击下一页。页面上是推荐调整参数。逐条。
第三道工序：推荐控制温度上加7?。推荐把备变报警閾值从4ml调到3ml。推荐预计护造偏差下降到0.15。
第五道工序：推荐上游材料预烘时间加长5分钟。推荐预计护造偏差下降到0.07。
第七道工序：推荐调整光刻股偏压閾值。推荐预计护造偏差下降到0.20。
第十二道工序：推荐封装温度调低。推荐预计护造偏差下降到0.12。
张立看完。他推了推眼镜。
“这些建议在现场设备上是可以调的。但是调下去后良率会出什么变化。”
素照点击仿真。
五分钟后。仿真结果出来。
预测良率：93.6%。
优良率：86.4%。
预测拉升：7.2个点。
张立看完一下。他看了一眼周志远。他看了一眼手錶。中午5五时。他发言。
“现在调。”
他告诉现场三位中阶工程师。接下来三十分钟调这四道工序的参数。
不是“看一看”。是“现在调”。
调完后在下一批晶圆的处理中验证。
周志远看了一眼產线。產线上三號起步。下一批晶圆要过第三道工序了。调整后的参数是在这一批晶圆上验证的。
调整是在產线不停止的情况下进行的。
这是產线仿真系统与传统仿真软体不同的地方。传统仿真软体要求“停產调產、重启验证”。薇澜仿真系统可以在產线不停止的情况下、现场调、现场验。
……
下午6点。
下一批晶圆出来。检验。
这一批良率：93.1%。
预测是93.6%。偏差0.5个点。这是仿真系统可接受的偏差范围。
產线节拍记录：原节拍113秒一晶圆。调整后99.6秒一晶圆。下降11.8%。
主要是第三道工序与第七道工序的调整减少了重复检验负荷。
张立是看看这两份数据。
他看了一眼周志远。
周志远本来是准备看。则他现在有点被压住了。他选了另一个產线。五號车间的另一条工艺复杂度高的產线。他用那条產线的上个月数据跑了另一份仿真。
预测良率拉升：6.8个点。
预测节拍下降：11.4%。
与今天三號產线的验证结果几乎同一量级。周志远看完。他收起了手机。
张立走过来。他明白周志远刚刚在验证什么。
“周总，这个系统。”他说。“纯凭输入参数跳出的预测与现场调整后的实际验证偏差在半个百分点以內。。”
他说这句话时声音不多。但他眼里是亮的。
周志远看了他一眼。“这是仿真系统。不是象。是。”
他顿了下。
“你们现在看到的是產线。你们不久会看到”三號產线后面还能接出那条產线、后面还能接出另一条”。”
“仿真系统不是“优化某一条產线”的工具。是“人有一套反馈。”
张立点了点头。他明白。
薇澜產线仿真系统不是一款软体。是一项能装进整个mems產业链里“数据-仿真-调优-反馈”闭环。
……
下午7点。邹心收拾设备。
老张老孙都被邹心送出了车间。仿真系统部署完成。下一步是授权代表。
走出车间后，张立问了邹心一个问题。他听说邹心今年刚转正。他想问下薇澜这边的情况。
“小邹，你们薇澜现在仿真部署部门多少人。”
“驻场部署组是二十三个人。还有后台支持、模型运营、样本库两个部门。加起来一百五十个人。”
“都是今年招的”
“大多是。”
张立点点头。这是他预料中的。薇澜仿真部署部门三月外还不存在。今年上半年他们招了上百人。
“你们招人招快。”
“不是薇澜招人。。”邹心说。“周总发出调调那些招。他是技术委员会里的三位。他招人比薇澜招人快”
张立听出一个信號。薇澜是个公司。薇澜背后不只有薇澜一家公司的人。是薇澜+中科院+联盟+所有能被薇澜动动的人。
他接著问了一个问题。一个他看起来同为理论部门的人能回答但他不確定能不能问的问题。
“小邹，我听说你们这边。诺亚、陈宇他们提过一个东西叫“工业云”。是可以多个厂的產线数据交换。这个东西现在薇澜有在做吗。”
邹心看了他一眼。他不在那个项目里。但他听过。
“工业云。是。2个月前有人提过一个未来设想。是薇澜提供仿真服务的同时、各厂匿名后的数据横向交换。能让仿真系统收敛更快。能让联盟企业看到同类產线“皆是”的偏偏。”
“在做吗。”张立问。
“不在。”邹心说。“薇澜。。会议上討论过。但最后被周总推到下个阶段了。”
“什么是下个阶段。”
“首批联盟企业接入稳定后。路弄估计是他们接入后三个月左右后。会拍重评估。”
张立点点头。他看了一眼快走出门的周志远。他都看这位周总是在推全场。准备仿真、准备原型、准备人、准备下一代架构。现在还准备“工业云”。
“他能推得过来吗。”张立咥了咥说。
邹心笑了下。“他能。他似乎不太睚。。”
两人一起走出了厂区门口。
邹心上了公司车上。张立站在路边看了一会。
他拿出手机。给孙坚发了一条消息。
“孙总，今天部署结束。、预测良率拉升：7.2个点。下一批验证：93.1%。產线节拍下降：11.8%。”
“呴。”孙坚六十秒后回。“明天不发报。”
张立闭上手机。
他抬头看了一眼越来越深的树色。六月的太阳还没落。阳光打在华润微厂区主楼上。
仿真部署今天完成。联盟核心五家还有4家要部署。后面还有3百多家要通过二次授权接入。
“工业云”还是“下个阶段”。
但周志远能推得过来。
他是个能推的人。
