深圳南山区鸿远飞鸟科技有限公司总部大楼前，一排黑色商务车整齐地停在路边。
车牌有粤b的，有京a的，甚至还有几辆掛著使馆牌照的——那些车上印著的小国旗分別属於美国、日本和法国。
保安队长老何站在大厅门口，一脸为难地看著眼前的景象。
从昨天下午开始，就陆续有人找上门来。一开始是两三个，然后是七八个，到今天早上他数了一下，在大厅的休息区坐著的各色人等已经超过了二十个。
其中不乏衣著考究、气质不凡的外国面孔。
老何在鸿远飞鸟工作了大半年了，见过不少来访的客户和合作方。但像今天这样，全球各大企业的高管齐聚一堂堵在大厅里等著见老板的场面，他还是第一次见。
“何队长，这位说他是波音公司供应链副总裁，要见苏总。“前台小姑娘小声跑过来匯报。
“还有这位，说是东丽中国区总经理……“
“这位是hexcel亚太区负责人……“
“这位是空客复合材料採购经理……“
老何听得头皮发麻，每一个名字背后都是一家足以在全球工业界呼风唤雨的巨头企业。
他赶紧拨通了林薇的电话。
“林总，这里来了一堆外国人，都说要见苏总。我看名片上的头衔一个比一个嚇人，您看这……“
电话那头的林薇沉默了两秒，然后平静地说：
“让他们在会客室等著，我十分钟后下来。“
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十分钟后，林薇出现在一楼大厅。
她穿著一身深灰色的职业套装，头髮利落地扎在脑后，脸上带著职业性的微笑，但眼睛里透著一股不卑不亢的冷静。
“各位好，我是鸿远飞鸟联合创始人兼运营负责人林薇。苏总目前不在深圳，有任何事情可以先和我沟通。“
人群中最先站起来的是一个五十岁出头的白人男性，西装笔挺，胸口別著波音的徽章。
“林女士，我是波音公司全球供应链副总裁麦可·哈里森。“他用流利的英语说道，身旁的翻译同步將话语转述为中文，“我们波音公司对贵公司的轻甲碳纤维复合材料非常感兴趣，希望能恢復之前的合作洽谈。“
“恢復？“林薇微微挑眉，脸上的笑容没有变化，但语气中多了一丝微妙的意味，“据我所知，哈里森先生，贵公司是在idsa报告发布后的第二天就取消了和我们的会议安排。如果我没记错的话，取消邮件的发送时间是11月3日下午3点47分，比东丽和hexcel还要早两个小时。“
哈里森的脸上闪过一丝尷尬，但他很快恢復了镇定。
“林女士，那是一个误会。我们內部在评估idsa报告的可信度——“
“哈里森先生。“林薇打断了他，声音不大，但每个字都清清楚楚，“idsa报告的可信度，在它发布的当天就被至少三家独立媒体质疑了。贵公司花了四天时间才评估出它不可信，这个速度確实让人印象深刻。“
大厅里安静了一瞬。
哈里森身后的翻译张了张嘴，似乎想说什么，但最终还是闭上了。
这时，另一个人站了起来。
这是一个留著花白头髮的日本男人，六十岁上下，穿著一件剪裁精良的藏青色西装。他微微鞠了一躬，用略带口音的中文说道：
“林女士，我是东丽中国区总经理田中诚一。东丽公司一直非常重视与中国企业的合作关係，关於之前的搁置，我们深表歉意。“
林薇看著田中诚一，眼神平淡。
东丽。
全球碳纤维行业的绝对霸主，t700、t800、t1100系列碳纤维的发明者和主要供应商。
在轻甲出现之前，东丽是无可爭议的碳纤维之王。
但轻甲的出现打破了这个格局——0.25毫米厚度，强度达到普通碳纤维的8倍，t800的3倍。
东丽不是不想要轻甲的技术，而是太想要了。
“田中先生，“林薇淡淡说道，“东丽公司想和我们谈什么样的合作？“
“我们希望能够採购轻甲样品用於测试评估，同时探討长期供应合作的可能性。“田中诚一说话时姿態放得很低，“如果贵公司需要碳纤维原丝方面的支持，东丽也可以提供——“
“田中先生。“林薇再次打断了对方，“我感谢东丽的诚意。但您应该知道，鸿远飞鸟已经收购了鹏程新材，我们正在建设自己的碳纤维预浸料產线。在原丝方面，我们暂时不需要外部供应。“
田中诚一的嘴角微微一僵。
他当然知道鹏程新材的事情。正是因为知道，他才更加著急。
如果鸿远飞鸟完成了从碳纤维原丝到预浸料到轻甲成品的全產业链布局，那东丽在中国市场的地位將受到前所未有的衝击。
但此时最尷尬的人，並不是波音的哈里森，也不是东丽的田中诚一。
而是坐在角落里一直没有说话的那个人——hexcel亚太区负责人理察·威尔逊。
如果说波音是“第一个取消会议“的，那hexcel就是“从头到尾都没有正式表態“的。
但这不是让理察尷尬的原因。
真正让他尷尬的，是2019年的那件事。
2019年，鸿远飞鸟还叫“苏辰的实验室“的时候，苏辰曾经通过学术渠道联繫过hexcel，希望进行碳纤维复合材料方面的技术交流。
当时hexcel的回覆是四个字——“暂不考虑“。
不，准確地说，连“暂不考虑“都没有。hexcel的回覆是根本没有回覆。苏辰的邮件石沉大海，连一封自动回復都没有收到。
而现在，这个曾经被hexcel视为不值得回覆邮件的年轻人，研发出了让hexcel心心念念的轻甲碳纤维复合材料。
理察深吸一口气，站了起来。
“林女士，我是hexcel亚太区负责人理察·威尔逊。关於2019年的事情，我代表hexcel向贵公司表示诚挚的歉意。“
林薇看著理察，目光中没有嘲讽，但也没有温度。
“威尔逊先生，道歉不需要向我说。“她淡淡说道。
“那……“
“我们的政策很清楚。“林薇环视了一圈在场所有人，声音不大但清晰无比，“轻甲优先供应飞鸟產业联盟成员。如果各位的公司有意加入联盟，可以通过官方渠道提交申请，我们会按照联盟章程进行审核。“
“联盟章程？“哈里森皱了皱眉，“林女士，能否透露一下联盟的准入条件？“
“条件不复杂。“林薇从文件夹里抽出一张纸递过去，“三条。第一，技术透明——加入联盟的企业需要公开其產品中使用轻甲的具体应用场景和技术参数，与联盟其他成员共享应用数据。第二，不参与供应链封锁——联盟成员不得配合任何第三方对联盟內企业实施供应链限制或技术封锁。第三，互惠互利——联盟成员之间享有技术协作优先权和產品交叉推荐权。“
哈里森看完这三条，脸色变得微妙起来。
第一条“技术透明“——这意味著波音必须向鸿远飞鸟公开轻甲在飞机上的应用数据，这对於一家军工背景的航空巨头来说几乎不可能接受。
第二条“不参与供应链封锁“——这几乎是在直接打脸idsa报告。如果波音加入联盟並签署这一条款，就等於公开和idsa划清界限。
第三条“互惠互利“——这意味著波音的竞爭对手也可能通过联盟获得轻甲。
“林女士，这些条件……“哈里森斟酌著措辞，“对於我们这样规模的企业来说，需要总部层面的审批。“
“当然。“林薇微笑著点头，“各位慢慢考虑就好。鸿远飞鸟不著急。“
不著急。
这三个字，是今天林薇说的所有话中最有分量的三个字。
因为它传达了一个清晰的信號——鸿远飞鸟不需要你们。
是你们需要轻甲。
会客室的门关上后，走廊里只剩下林薇一个人。她掏出手机，给苏辰发了一条消息：
“波音、东丽、hexcel、空客全部来了，都被我顶回去了。联盟条款他们短期內吞不下去。预计东丽会第一个鬆口，hexcel会跟，波音和空客需要更长时间。“
苏辰的回覆很快：
“做得好。另外，下午中航工业的刘少军会过来，战略合作协议的终稿他带过来了，你和张昊天一起签就行。“
林薇看到这条消息，眼睛微微一亮。
中航工业。
这是真正的大单。
不同于波音和东丽那些带著试探和算计的“合作意向“，中航工业的战略合作是实打实的——军用级碳纤维复合材料长期供应协议，订单周期长达五年，每月供货量隨產能逐步递增。
这意味著什么？
意味著轻甲將正式进入军工供应体系。
一旦进入军工体系，就不是简单的商业合作了——这是国家级的信任背书。
从此以后，谁要是想对鸿远飞鸟的供应链下手，就得先掂量掂量中航工业这块牌子够不够硬。
下午三点，中航工业先进材料部的刘少军准时出现在鸿远飞鸟总部。
他是一个四十多岁的男人，穿著一件普通的深蓝色夹克，看上去和那些西装革履的国际巨头们形成了鲜明的对比。但在场的每一个鸿远飞鸟的员工都知道，这个看起来朴素的男人代表著什么。
签约仪式没有任何排场，就在三楼的小会议室里，林薇和张昊天代表鸿远飞鸟，刘少军代表中航工业，三个人安安静静地签完了文件。
刘少军签完最后一个字，抬头看了一眼林薇，说了一句话：
“回去告诉苏辰，国家的底气在这儿。让他安心搞技术。“
林薇微微一愣，然后重重地点了点头。
签约完成后，张昊天做了一个简单的財务测算——中航工业的长期供应协议一旦执行，轻甲的月收入將从目前的3亿增加到4.5亿左右。
虽然和最初预估的国际市场百亿级规模相去甚远，但这4.5亿是稳定的、长期的、不受任何国际风波影响的收入。
加上手机代工的3200万、手机镜头的2.1亿、无线区域网模块的9000万——鸿远飞鸟的月收入將达到大约10.8亿。
这个数字足以支撑drie的研发、mems开发板的免费推广、以及鹏程新材碳纤维预浸料產线的改造。
钱不是问题。
时间才是。
………
同一天，下午五点，苏州工业园区。
苏辰站在陈国栋团队的实验室门口，看著眼前这间被改造得面目全非的车间。
三个月前他第一次来这里的时候，这里还只是一个简陋的实验平台——几台二手真空设备、一台改装过的等离子体源、还有满地的管线和线缆。
但现在，这里已经变成了一个像模像样的drie实验室。
车间中央矗立著那台200毫米drie原型腔体——不锈钢外壳在日光灯下泛著冷冽的金属光泽，腔体顶部连接著密密麻麻的管线，旁边是全新的射频电源和气路控制柜。
而最引人注目的，是腔体內部的四组导流槽。
这是沈志明根据第7组数据异常推导出的方案——通过在腔体內壁安装特定角度的导流槽，精確控制sf?和c?f?的气流场分布，从而在更大的腔体內实现与小腔体相同的刻蚀均匀性。
导流槽的安装角度是11.5度，这个数字来自沈志明连续四天的气流场仿真计算。
“苏总，设备已经就绪。“陈国栋走过来，手上沾著油污，但脸上带著压抑不住的兴奋，“rf电源昨天调试完成，腔体真空度达到了5x10?3 pa的设计指標。气路系统也做了三次泄漏检测，全部合格。“
“沈志明呢？“
“在控制室里做最后的参数確认。“陈国栋朝车间另一头的隔间点了点头。
苏辰走进控制室，看到沈志明正盯著电脑屏幕上密密麻麻的数据曲线。
这个三十出头的前中微半导体工程师，自从加入陈国栋的团队后就像换了一个人。在中微半导体的时候，他负责的是成熟工艺的维护和优化——日復一日地调参数、跑测试、写报告，技术上几乎没有任何突破的空间。
但在这里，一切都是从零开始的。
没有现成的工艺参数可以照搬，没有教科书可以翻阅，每一个数据都是他们自己一刀一刀刻出来的。
而那个“第7组数据异常“——功率窗口78%-82%时sf?刻蚀速率异常升高到5.1μm/min，侧壁角度反而改善到89.7°——正是沈志明在无数次失败的实验中捕捉到的灵光一闪。
“数据准备好了？“苏辰问道。
沈志明转过头来，眼睛里布满了血丝——显然又是一个通宵——但精神却极度亢奋。
“苏总，我把200毫米腔体的仿真跑了12轮。“他指著屏幕上的一组三维气流场分布图，“四组导流槽在11.5度安装角下，腔体中心与边缘的sf?浓度差异从无导流槽时的23%降低到了4.7%。理论上，这个均匀度已经可以满足批量刻蚀的要求。“
苏辰凑过去仔细看了看那组仿真结果。
12轮仿真，每一轮的参数都有微调——rf功率从75%到85%，腔压从15mtorr到25mtorr，sf?/c?f?流量比从2:1到4:1。
在所有参数组合中，最优的那一组正好落在功率窗口78%-82%、腔压18-20mtorr的区间。
和沈志明在小腔体上发现的“异常数据“完全吻合。
苏辰在虚擬空间中早已验证过这个结论——导流槽方案在200毫米腔体上是可行的，250毫米需要微调安装角度到12.2度，300毫米则需要增加第四组导流槽並將角度调整到13.8度。
但虚擬空间的验证和真实世界的实测之间，永远隔著一道鸿沟。
“准备开始吧。“苏辰说道。
陈国栋和沈志明对视一眼，然后同时点了点头。
晚上七点，200毫米drie腔体的第一次正式实测正式开始。
苏辰站在控制室的观察窗前，看著腔体內射频电源点亮的那一刻——一团淡蓝色的等离子体在腔体中央缓缓成型，如同深海中绽放的水母，美得令人窒息。
“rf功率稳定在80%，腔压19mtorr。“沈志明的声音从对讲机里传来，专注而平稳。
“sf?流量120sccm。气流场分布……正常！导流槽工作正常！“
苏辰的双手不自觉地攥紧了。
这一刻，他想起了三个月前在这间实验室里，陈国栋第一次成功点亮等离子体时的场景。
那一次的刻蚀速率只有2.8μm/min，侧壁角度只有85.2°。
而现在——
“第一轮刻蚀完成！“沈志明的声音突然拔高了一个八度，“苏总！sf?刻蚀速率——4.8μm/min！侧壁角度——89.5°！“
控制室里爆发出一阵欢呼声。
陈国栋激动得满脸通红，一把抓住沈志明的肩膀用力摇了两下：“成了！导流槽方案成了！“
但苏辰没有加入欢呼。
他的目光紧紧盯著屏幕上的另一组数据——腔体中心与边缘的刻蚀深度差异。
这才是导流槽方案最核心的验证指標。
如果中心和边缘的刻蚀深度差异超过8%，那即使速率和角度都达標，这台设备也无法用於批量生產。
数据在屏幕上一行一行地跳出来。
中心区域刻蚀深度：48.2μm。
边缘区域（北侧）：46.8μm。
边缘区域（南侧）：47.1μm。
边缘区域（东侧）：46.5μm。
边缘区域（西侧）：47.3μm。
苏辰在心里飞速计算——最大差异出现在东侧，48.2减46.5，差1.7μm，偏差率3.5%。
3.5%。
远低於8%的閾值。
“均匀性……3.5%。“苏辰的声音有些沙哑，但每个字都像是从胸腔里挤出来的。
控制室再次安静了一瞬。
然后，比第一次更加猛烈的欢呼声爆发了出来。
沈志明直接从椅子上跳了起来，双手高高举过头顶。陈国栋则是一屁股坐在了地上，仰头看著天花板，眼眶泛红。
在这个简陋的苏州工业园区实验室里，在这个2020年11月7日的夜晚——
中国第一台具备量產潜力的200毫米drie深硅刻蚀原型设备，完成了它的首次成功刻蚀。
苏辰站在那里，看著屏幕上那些跳动的数字，嘴角终於缓缓上扬。
但他知道，这只是第一步。
200毫米验证成功了，接下来是250毫米，然后是300毫米。
导流槽的角度需要调整，第四组导流槽需要设计和加工，气流场模型需要重新校准……
还有很长的路要走。
但方向，已经確认了。
他掏出手机，给林薇发了一条消息：
“200mm首测成功。均匀性3.5%，速率4.8μm/min，侧壁89.5°。导流槽方案验证通过。“
然后他又给周志远教授发了一条：
“周教授，开发板的晶片方案我已经確定了。等drie这边稳定后，我亲自来清华给您匯报。“
最后，他打开微博，看了一眼自己那条三句话的动態——转发量已经突破了二十万。
评论区最新的一条是：
“苏辰，你到底在忙什么？出来说两句啊！“
苏辰笑了笑，把手机收回口袋。
他在忙什么？
他在忙著种种子。
有些种子三个月后发芽——比如drie。
有些种子三年后开花——比如mems开发板进高校。
有些种子十年后才结果——比如一整代用著鸿远晶片长大的工程师。
但无论多久，只要种下去了，就一定会长出来。
这一点，苏辰从未怀疑过。
