说完他拍著胸脯保证道。
刘部长连忙拉住了好友的手:“这不是不相信你,而是这个设备太重要了。”
陈建明当然明白,毕竟从他踏入这里的第一天,他就知道了这些设备的重要性。
“好了,別在我面前装了。
咱们还是先看一下效果吧。”
说完他抬手示意,工作人员立刻启动设备。
晶圆台缓缓移动,雷射透过浸没液层投射在硅片上,这个过程非常的顺利,没有出现任何故障。
“核心参数我再给大家简单说一下。
数值孔径0.93,支持传音的四重曝光技术,目前量產稳定製程14nm,工艺优化后可以衝击10nm。
极限制程是6nm。
目前我们测试的是14nm工艺,良品率稳定在95%以上,单台设备月產能12000片晶圆。”
陈建明的话,非常的简洁,毕竟在场的都不是什么技术型人才……
太高深的技术资料他们也听不明白,反正是这些结果,更好沟通一些。
“这台设备的综合性能已经和阿斯麦尔最顶级的nxe系列duv光刻机持平。”
看到沈总开口,而且问的还是这么专业的问题,陈建明立刻遇到了知音,连忙围了过去:
“是的,沈总,没想到您这么专业。”
“那可不,你们当初的资料全都是沈总借著经济危机从美利坚挖过来的。”
这时一旁的任正非回答道。
毕竟他还是怀念那个夏天,做出了最正確的选择。
不仅给他们带来了一笔救命钱,还找了一个大爹。
这是工信部的刘部长没有听他们在这里吹捧,而是走到观测窗前,盯著里面的设备看了许久。
中间不时地嘆息。
“了不起呀!”
四五年前我们还在愁40nm、28nm卡脖子问题,现在不仅工艺解决了,连源头设备都解决了。
duv、浸没式duv全都有了,甚至还有一大批出口的订单。
这要是放出去谁敢信呀?”
这时陈建明又走到他的身边,“我听老杨说他们那边的订单,已经卖出去快七八十台了。”
“准確的说是82台,你眼前这两位全都是大客户,快点好好的巴结一下。”
真被刘部长的话,陈建明瞬间给他甩了一个白眼,但人还是非常自觉的走了过去。
这时,但这是任正非,示意他去找旁边的大哥:
“我们菊厂之前也考虑自建工厂,但是沈总那边解决產能危机之后,我们就放弃了,毕竟都是一家人,要建两个工厂,太浪费资源了。”
看著洒脱的任正飞,沈飞笑了笑。
这倒也是,毕竟他有著菊厂中端50%的股份,流片生產虽然比不上自家的泰山系列,但也是按自家人算的。
“放心,前10台给我们留著。”
“这……这……我们初期规划年產能也就5台,这一下子就给我们订了两年的量。
我替兄弟们谢谢沈总了!”
毕竟他们这些人从来不怕技术攻坚难,就怕技术攻坚完毕之后卖不出去,然后没钱……没办法进一步研究。
刘部长看著这台设备也笑完了,那是属於国產科研人员对於国產设备的期待。
这时他又走到了三人的面前:
“我现在有个不太成熟的想法,想和三位交个底。
我的意见是,这个技术先压下来,不对外官宣。
现在台积电最先进的量產製程也就20nm,就说他们一个在搞16nm,一个在搞14nm,但技术都不太成熟。
所以我们就处在领先水平…而且至少一代的差距。”
这时沈飞脸上露出了一丝微妙的表情。
刘部长瞬间明白:“你小子又给我带来了一个惊喜,至少两代的技术领先。
我的想法是先內部消化。
沈总,你们的晶圆厂把產线吃到7nm后,闷声把產能提上去,再慢慢地把设备卖出去。”
这话一出,旁边的隨行人员都纷纷点头。
在他们看来,这么关键的技术当然是藏得越保密越好,太早暴露只会引来美利坚更疯狂的打压。
虽然他们不怕,是每次都用大豆牌或者稀土牌,国內多少还会受到一定的影响……
但沈飞却摇了摇头。
他不认可这个方案,但是刘部长他们也没有做错,毕竟他们那一辈过的太苦了,有好东西肯定会下意识地藏著。
但是传音不需要……传音有的是手段。
“刘部长,我觉得没必要。
浸没式duv本来就不是什么先进的技术,说穿了只是成熟技术路线突破,算不上什么下一代核心技术。
当然我们的四重曝光技术確实先进,但这是不卖的东西。”
“所以我们的这台设备只要不叠加四重曝光技术,它只是一个普通货色。
咱们真正压箱底的是euv极紫外光刻机项目。”
任正非再次点了点头,毕竟他也知道这些参数,虽然感觉让別人顶尖的数据……终归不是euv。
这时陈建明也点了点头:“沈总说的没错,我个人也是建议宣传。
倒不是我想出名,而是接下来只有10nm和7nm两个节点还能用得上这台设备。
只有作为先进工艺的时候,设备才能卖个高价,不然到时候它就只能算是成熟製程,只能卖白菜价。”
这是工信部的一位局长也被触动了:“部长,虽然外界都说咱们是流氓。
虽然能把健康科技卖成白菜价,但要是真有能力,谁愿意卖白菜?咱们也想要割韭菜呀!”
说到这里,刘部长也动容了。
他也想呀,可这不是穷怕了吗?
陈建明也明白他的犹豫,所以对著这位好友说道:
“放心吧,我和老王那边沟通过,他们的项目进展也很顺利。
项目已经进入整机联调阶段,核心的光源、光学系统都已攻克,最多三年就能落地。
跟那台设备比起来,今天这台浸没式duv,就是落后技术,就是妥妥的牛夫人。”
刘部长傻眼了,他刚才可是稀罕了好久,现在告诉他……
“三年?这么快?岂不是能追上阿斯麦尔?”